ジクス株式会社

TABテープの微細パターン幅を非接触・高精度で全数計測

TABテープパターン幅検査装置

半導体実装用 TAB（Tape Automated Bonding）テープのリード・パターン幅を、高解像度ラインカメラにより非接触でリアルタイム計測する装置です。

パターン幅の寸法逸脱・欠け・断線・ショートなどの欠陥を高精度に検出し、NG 品へのデータ記録に対応します。

微細ピッチ品にも対応した高倍率レンズシステムを採用しています。